在需要高精度惯性导航的场景中，高性能MEMS惯性传感器近年来已能部分替代光纤陀螺仪（FOG），但能否完全替代取决于具体的应用需求。例如，Micro-Magic公司生产的MEMS IMU U6488，其陀螺仪的偏置不稳定性可达0.2。°/h，以及零偏差稳定性的精度（1） σ（10秒）可以达到1°/h；随机游走达到 0.03 º/√本产品可替代低精度光纤陀螺仪，满足短时高动态任务（小于 30 分钟），或在 GNSS 辅助场景中，组合导航（如 RTK + 高精度 MEMS）的位置误差可小于 1 米。
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