The AT-950 industrial grade MEMS tri-axis accelerometer adopts advanced silicon-based MEMS technology and a compact ceramic package design, featuring high stability, low noise, low temperature drift, wide measurement range, and excellent long-term reliability.
零件编号 :
AT-950订单（最小起订量） :
1Product Series and Parameters
| Parameters | MEMS Accelerometer | Unit | |
| Product code | AT-950-40 | AT-950-50 | |
| Encapsulation | CLCC14 | ||
| Dimension | 6*6*2 | mm | |
| Axial | X, Y, Z | ||
| Range | ±40 | ±50 | g |
| Scale nonlinearity | <1000(X,Y), <5000(Z) | <1000ppm(@20g); >3000ppm(@50g) |
ppm (IEEE Norm , of full scale) |
| Bandwidth 3db (adjustable) | ≥200 | ≥200 | Hz |
| Delayed | <1.5 | <1.5 | ms |
| Zero bias (room temperature) | ±1 (X,Y); ±1.5 (Z) | ±1 (X,Y); ±1.5 (Z) | mg(@room temperature) |
| Zero bias temperature drift | <5 | <5 | mg |
| Zero-bias temperature hysteresis | <1.5 | <2 | mg |
| Zero bias stability (1s, smooth @room temperature) | 100 (X, Y), 150 (Z) | 100 (X, Y), 150 (Z) | ug |
| Zero bias stability (10s, smooth @room temperature) | 75 (X, Y), 100 (Z) | 75 (X, Y), 100 (Z) | ug |
| Zero bias stability (Allan) | 20 (X, Y), 25 (Z) | 25 (X, Y), 30 (Z) | ug |
| Switch repeatability 1σ | 50 (X, Y), 75 (Z) | 50 (X, Y), 75 (Z) | ug |
| Scale factor | 12800±13 | 10240±10 | Lsb/g(@room temeprature) |
| Scale temperature coefficient | 100 | 100 | ppm/°C |
| Residual error after scaled temperature compensation | 100 | 100 | ppm(second-order compensation)1σ |
| Start time | <200 | <200 | ms |
| ODR (adjustable) | 4K | 4K | Hz |
| Shock on power | 3000 | 3000 | g |
| Shock off power | 3000 | 3000 | g |
| Vibration rectification error (6grms) | 1 (X, Y), 3 (Z) | 1 (X, Y), 3 (Z) | mg/grms |
| Operating temperature | -45 ~ +85 | -45 ~ +85 | °C |
| Power voltage | 3.3±10% | 3.3±5% | V |
| Current | <600 | <600 | uA |
| Communication interface | SPI | SPI | |
Production process
Product dimension
Application Scenarios
FAQ
AC-SMA-XXD系列加速度计是一款单轴电容式加速度计。 MEMS加速度计AC-SMA-XXD 由全硅 MEMS 传感结构和低功耗信号处理 ASIC 芯片组成。它采用单电源供电（5V），典型功耗仅为 11mA。其输出可以是 SPI 协议的数字信号，也可以是全差分模拟信号（共模电压为 2.5V），模拟输出电压范围为 0.5V 至 4.5V。
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ACM-1700系列是一款高性能单轴打印机 MEMS加速度计 该系列产品专为高精度、高可靠性的加速度测量应用而设计，提供四种不同量程型号，测量范围从±10g到±200g，并支持根据客户需求进行定制。传感器采用24位二进制补码数据输出，并通过SPI数字接口进行通信，即使在复杂的工作条件下也能确保稳定、准确的数据采集。ACM-1700系列具有卓越的性能，包括高零偏稳定性、低非线性误差和强抗冲击性。其集成的温度传感器进一步支持系统级温度补偿，提高了整个温度范围内的测量一致性。该系列产品适用于航空航天、工业控制、导航系统、机械监测、姿态测量、结构健康监测等多个高要求领域，是惯性测量、振动分析和运动感知应用的理想选择。
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ACM-1000 振动传感器 该产品由Micro-Magic Inc.高科技公司自主研发生产，采用数字滤波技术，有效降低测量噪声，提高测量精度。可应用于振动测试、冲击测试等多个领域。产品由单晶硅电容式传感器、温度传感器和固态电源（带过压保护）组成；设计结构坚固、功耗低、偏差稳定性好，确保输出可靠性。
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基于硅的ACM-1900 MEMS加速度计 该加速度计采用小体积陶瓷封装，具有精度高、量程宽、抗冲击性强、工作温度范围广、全数字输出等特点。它内部集成了温度补偿功能，并采用SPI总线进行数据读写。
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ACM-300 三轴加速度计 是一种广泛使用的 加速度传感器 该系列产品由Micro-Magic Inc.高科技公司采用瑞士专利技术生产，可应用于振动测试、冲击测试等领域。产品采用0~5V和0~10V输出接口，可设置不同的地址码，并可将多个传感器串联，实现远距离多点测量和数据分析。ACM-300是一款单晶硅电容式传感器，由经过微机械加工的硅芯片、用于信号调节的低功耗ASIC芯片、用于存储补偿值的微处理器以及温度传感器组成。
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ACM-200 三轴加速度计 是一种广泛使用的 加速度传感器 该系列产品由Micro-Magic Inc.高科技公司采用瑞士专利技术生产，可应用于振动测试、冲击测试等领域。产品采用4~20mA和0~20mA两种输出接口，可设置不同的地址码，并支持多个传感器串联，实现远距离多点测量和数据分析。ACM-200是一款单晶硅电容式传感器，由经过微机械加工的硅芯片、用于信号调节的低功耗ASIC芯片、用于存储补偿值的微处理器以及温度传感器组成。
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ACM-100 三轴加速度计 是一种广泛使用的 加速度传感器 该系列产品由Micro-Magic Inc.高科技公司采用瑞士专利技术生产，可应用于振动测试、冲击测试等领域。产品采用数字接口输出，可选配RS232、RS485、TTL、Modbus和RS422协议。用户可设置不同的地址码，并可将多个传感器串联，实现远距离多点测量和数据分析。ACM-100是一款单晶硅电容式传感器，由经过微机械加工的硅芯片、用于信号调节的低功耗ASIC芯片、用于存储补偿值的微处理器以及温度传感器组成。
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